[实用新型]一种光刻机的晶舟锁紧装置无效
| 申请号： | 200720005582.8 | 申请日： | 2007-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN201017174Y | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | 陈晓琪;胡清强;鲁旭光 | 申请（专利权）人： | 和舰科技(苏州)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高翔 |
| 地址： | 215123江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种光刻机的晶舟锁紧装置，针对现有技术中存在的晶舟可以在工作时任意移动有可能造成传动机械臂和晶片损坏的问题而设计，其特征在于，设有一锁紧装置，该锁紧装置与该光刻机电连接，该锁紧装置在该光刻机工作时处于锁紧状态，使晶舟不能移动；在该光刻机不工作时处于解锁状态，使晶舟可以移动。本实用新型提出的一种光刻机的晶舟锁紧装置能够提高系统的可靠性，防止设备和产品的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 晶舟锁紧 装置 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机的晶舟锁紧装置，其特征在于，设有一锁紧装置，该锁紧装置与该光刻机电连接，该锁紧装置在该光刻机工作时处于锁紧状态，使晶舟不能移动；在该光刻机不工作时处于解锁状态，使晶舟可以移动。
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