[实用新型]TFT LCD玻璃基板的蚀刻槽结构

摘要

本实用新型公开了一种TFT LCD玻璃基板的蚀刻槽结构，包含有一具有容置槽的本体，该容置槽底部分别连通有一进水管、出水管及一排水管，且该容置槽内部的两端系分别具有一上喷嘴组及下喷嘴组；以及分别设于容置槽两侧的冲击单元，各冲击单元分别具有一推出口，且该容置槽底部两侧分别具有一吸入口。这样，可使该蚀刻槽同时具有蚀刻及清洗的功能，可以缩短蚀刻时间及简化蚀刻过程，且于蚀刻及清洗时可达到均匀冲击的效果。

主权项

1.一种TFT LCD玻璃基板的蚀刻槽结构，其特征在于，其包括有：一本体，该本体具有一容置槽，该容置槽底部分别系连通有一进水管、出水管及一排水管，且该容置槽内部的两端分别具有一上喷嘴组及下喷嘴组，并于其底部两侧分别具有一吸入口且与一泵相连接；以及冲击单元，各冲击单元分别设置于上述容置槽的两侧，且各冲击单元分别具有一推出口并连接于该泵。