[实用新型]单晶电磁场无效
申请号: | 200720010591.6 | 申请日: | 2007-02-14 |
公开(公告)号: | CN201006901Y | 公开(公告)日: | 2008-01-16 |
发明(设计)人: | 张承臣;李恒盛;吴文奎;胡占林;李朝朋;邵贵成 | 申请(专利权)人: | 抚顺隆基磁电设备有限公司 |
主分类号: | C30B30/04 | 分类号: | C30B30/04 |
代理公司: | 抚顺宏达专利代理有限责任公司 | 代理人: | 李壮男 |
地址: | 113122辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种在半导体材料生产中给单晶炉配套的单晶电磁场,由轭板、导磁板、磁极和极头组成,两轭板一端通过导磁板连接,轭板的另一端连接磁极,两磁极相对应,在两磁极的相对面有极头;两轭板、导磁板和两个磁极构成一个C形框架,两轭板分别固定在两个立柱上,两立柱之间有连接梁连接;在导磁板上连接有冷却系统。本实用新型磁场稳定、可调;可提高材料利用率,提高硅片性能指标。可以对已有单晶炉进行改造,达到提高单晶质量的要求;可对不同结构的单晶炉进行设计,满足不同用户要求;相对结构简单,生产成本较低。 | ||
搜索关键词: | 电磁场 | ||
【主权项】:
1.一种单晶电磁场,其特征是:它由轭板(6)、导磁板(4)、磁极(7)和极头(8)组成,两轭板(6)一端通过导磁板(4)连接,轭板(6)的另一端连接磁极(7),两磁极(7)相对应,在两磁极(7)的相对面有极头(8);两轭板(6)、导磁板(4)和两个磁极(7)构成一个C形框架,两轭板(6)分别固定在两个立柱(3)上,两立柱(3)之间有连接梁(2)连接;在导磁板(4)上连接有冷却系统(1)。
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