[实用新型]一种直排大气的多级罗茨干式真空泵无效
| 申请号： | 200720014452.0 | 申请日： | 2007-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN201074591Y | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 王光玉;秦柏林;张振厚;张健 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C23/00;F04C18/14;F04C29/04 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 张志伟 |
| 地址： | 110168辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空泵技术领域，特别是一种直排大气的多级罗茨真空泵。该泵具有主从动轴、主从动转子、主从动齿轮，主动齿轮、主动转子安装在主动轴上，从动齿轮、从动转子安装在从动轴上，泵体采用多级相连结构，随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔，每两个泵腔之间有级间隔板分开，并通过级间气流通道相连。本实用新型解决现有技术中一次性投入大、加工难度大、极限真空低、消耗功率大、不能直排大气、不能用于IC装备的不足。本实用新型在抽气过程中可保持真空环境不受污染，适用于半导体、石化、冶金、食品、医药、电子、包装、印刷等行业。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大气 多级 罗茨干式 真空泵 | ||
【主权项】：
1.一种直排大气的多级罗茨干式真空泵，具有主从动轴、主从动转子、主从动齿轮，主动齿轮、主动转子安装在主动轴上，从动齿轮、从动转子安装在从动轴上，其特征在于：泵体采用多级相连结构，随转子级数不同分有多个相对独立的泵腔，每两个泵腔之间有级间隔板分开，并通过级间气流通道相连。
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