[实用新型]球形脉冲激光溅射沉积装置无效
| 申请号： | 200720014645.6 | 申请日： | 2007-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN201074246Y | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 赵科新;郭东民;赵崇凌;张冬;王云琴;李重茂;徐宝利;高树爱;吕鑫淼;赵长存;刘传舜;冯育强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人： | 许宗富;周秀梅 |
| 地址： | 110168辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及激光法制备各类薄膜的设备，具体地说是一种球形脉冲激光溅射沉积装置，球形真空室的圆周表面上设有样品口、靶口及激光口，第一、二激光口的轴线在球形真空室的上视基准面上，且第一激光口的轴线平行于Z轴，第二激光口的轴线平行于X轴，第一激光口距Z轴的距离与第二激光口距X轴的距离相等；样品口的轴线在球形真空室的上视基准面上，样品口位于第一、二激光口之间且样品口的轴线与两激光口轴线之间的夹角为30～60°；靶口与样品口相对设置，靶口的轴线位于经过样品口的轴线并垂直于上视基准面的平面上，且靶口的轴线平行位于样品口轴线的上方或下方。本实用新型膜层均匀性好，工作效率高，检测准确，有利于分析实验数据。 | ||
| 搜索关键词： | 球形 脉冲 激光 溅射 沉积 装置 | ||
【主权项】：
1.一种球形脉冲激光溅射沉积装置，包括球形真空室及支架，球形真空室的圆周表面上设有样品口、靶口及激光口，分别安装有样品台、靶台及激光窗，其特征在于：所述第一、二激光口(5、7)的轴线在球形真空室的上视基准面上，且第一激光口(5)的轴线平行于Z轴，第二激光口(7)的轴线平行于X轴，第一激光口(5)距Z轴的距离与第二激光口(7)距X轴的距离相等；所述样品口(6)的轴线在球形真空室的上视基准面上，样品口(6)位于第一、二激光口(5、7)之间且样品口(6)的轴线与两激光口轴线之间的夹角为30～60°；所述靶口(2)与样品口(6)相对设置，靶口(2)的轴线位于经过样品口(6)的轴线并垂直于上视基准面的平面上，且靶口(2)的轴线平行位于样品口(6)轴线的上方或下方。
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