[实用新型]源材料蒸发器无效
申请号: | 200720031810.9 | 申请日: | 2007-05-18 |
公开(公告)号: | CN201037164Y | 公开(公告)日: | 2008-03-19 |
发明(设计)人: | 王发展 | 申请(专利权)人: | 西安建筑科技大学 |
主分类号: | C30B23/06 | 分类号: | C30B23/06 |
代理公司: | 西安西达专利代理有限责任公司 | 代理人: | 第五思军 |
地址: | 710055*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种源材料蒸发器,它包括端盖(1)、导线(2)、套筒(3)、密封材料(4)、蒸发套(5)、电热丝(6),其特征是:所述套筒(3)的一端插入所述蒸发套(5)中,套筒(3)的另一端连接有起密封作用的端盖(1),导线(2)穿过端盖(2)和套筒(3)与蒸发套(5)内的电热丝(6)相连,所述导线(2)被密封材料(4)密封在套筒(3)内,在所述蒸发套(5)上设有开口(7)。本实用新型设计合理、结构简便、工作可靠、可以实现对各源材料独立蒸发,分别控制各自源材料的蒸发速率,最终提高传统管式炉生长材料的成分控制精度。 | ||
搜索关键词: | 材料 蒸发器 | ||
【主权项】:
1.一种源材料蒸发器,其特征是:它包括端盖(1)、导线(2)、套筒(3)、密封材料(4)、蒸发套(5)、电热丝(6),其特征是:所述套筒(3)的一端插入所述蒸发套(5)中,套筒(3)的另一端连接有起密封作用的端盖(1),导线(2)穿过端盖(2)和套筒(3)与蒸发套(5)内的电热丝(6)相连,所述导线(2)被密封材料(4)密封在套筒(3)内,在所述蒸发套(5)上设有开口(7)。
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