[实用新型]压电传感器的基片有效
| 申请号： | 200720031970.3 | 申请日： | 2007-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN201045581Y | 公开（公告）日： | 2008-04-09 |
| 发明（设计）人： | 朱军 | 申请（专利权）人： | 朱军 |
| 主分类号： | G01D5/12 | 分类号： | G01D5/12 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 | 代理人： | 徐平 |
| 地址： | 710082*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种构成压电传感器压电片的基片，其包括基片，基片为金属基片，该基片与压电晶片相粘合的部位上均布有照相腐蚀孔，照相腐蚀孔的加工精度≥0.1mm，照相腐蚀孔的面积S≤10(mm)2。本实用新型解决了背景技术中刚性差、抗横向干扰能力差，或弹性滞后大，而导致传感器信号品质差的技术问题。本实用新型照相腐蚀孔整体分布的均匀性好，加工精度高，照相腐蚀孔可以设置成密度非常大的孔，基片的平整度好，基片在加工至非常薄时仍可确保良好的刚性。基片的弹性、柔韧性以及抗疲劳性均较好。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压电传感器的基片，包括基片(1)，其特征在于：所述的基片(1)为金属基片，该基片(1)与压电晶片相粘合的部位上均布有照相腐蚀孔(2)，所述照相腐蚀孔(2)的加工精度≥0.1mm，所述照相腐蚀孔(2)的面积S≤10(mm)2。
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