[实用新型]真空镀膜箱无效
申请号: | 200720036586.2 | 申请日: | 2007-03-30 |
公开(公告)号: | CN201024209Y | 公开(公告)日: | 2008-02-20 |
发明(设计)人: | 查家明;徐洪爽 | 申请(专利权)人: | 江苏北方湖光光电有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;G02B1/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 214035*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开的是真空镀膜箱。它包括箱体,该箱体为圆柱形,其顶板的下表面中心和底板上分别有探头和蒸发器,顶板与底板之间有用于放置被镀零件的支撑板。支撑板的边沿与箱体内壁间留有间距,其上有中心孔,该中心孔与探头对应且中心孔的直径大于探头。支撑板上还均布有通孔。其特点是底板上有支架,支架上有挡板,该挡板可沿支架上下移动。挡板上有中心孔,其上还均布有通孔。采用这种真空箱镀制光学薄膜,性能较好。适用于对用于光学薄膜的镀制。 | ||
搜索关键词: | 真空镀膜 | ||
【主权项】:
1.真空镀膜箱,包括箱体(9),该箱体为圆柱形,其顶板的下表面中心和底板上分别有探头(2)和蒸发器(8),顶板与底板之间有用于放置被镀零件(1)的支撑板(4);支撑板(4)的边沿与箱体(9)内壁间留有间距,其上有中心孔(3),该中心孔与探头(2)对应且中心孔(3)的直径大于探头(2);支撑板(4)上还均布有通孔;其特征在于底板上有支架(7),支架(7)上有可沿其上下移动的挡板(5),挡板(5)上有中心孔,其上还均布有通孔。
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