[实用新型]具有对硅微加工工艺误差不敏感的微机械滤波器

摘要

具有对硅微加工工艺误差不敏感的微机械滤波器属于硅微机械滤波器制造技术领域。该微机械滤波器包括耦合梁、梳状振子、折叠梁。通过设定耦合梁与折叠梁在振动方向的具有相同的宽度，并且在梳状振子上的开设多个鲁棒补偿孔，让一个梳状振子外边沿的周长与该梳状振子上的各个鲁棒补偿孔的周长之和，同折叠梁在振动方向上的宽度的乘积，等于一个梳状振子外边沿所包围的面积减去该梳状振子上的各个鲁棒补偿孔的面积所得之差的六倍，把加工工艺误差对固有频率的影响降为二阶小，工艺误差不会明显改变固有频率，进而保证了滤波器的通带位置与通带宽度的稳定，使该机械滤波器具有对硅微加工工艺误差不敏感的特性。

主权项

1.一种具有对硅微加工工艺误差不敏感的微机械滤波器，包括耦合梁(1)、梳状振子(2)、折叠梁(3)，它们的厚度相同且位于同一平面内，其中，梳状振子(2)包括左梳状振子(21)和右梳状振子(22)，它们形状相同，并分别对称连接在耦合梁(1)的左右两侧，每一个梳状振子(2)的上下两侧分别对称连接着一个平行于耦合梁(1)的折叠梁(3)，静电梳状驱动端(4)设置在左梳状振子(21)的左侧，静电梳状感应端(5)设置在右梳状振子(22)的右侧，静电梳状驱动端(4)和静电梳状感应端(5)的梳齿部分分别与相应一侧的梳状振子(2)的梳齿部分保持不接触的平行交错，其特征在于：1)、折叠梁(3)和耦合梁(1)在振动方向上具有相同的宽度；2)、在梳状振子(2)的中部(20)，设有多个垂直于梳状振子平面且贯通的鲁棒补偿孔(201)，使梳状振子(2)的几何尺寸满足如下关系：P0a0≈6A0 其中，P0为一个梳状振子(2)外边沿的周长与其上开设的各个鲁棒补偿孔(201)的内周长之和，a0为折叠梁(3)在振动方向上的宽度，A0是一个梳状振子(2)的外边沿所包围的面积减去其上开设的各个鲁棒补偿孔(201)的面积所得之差。