[实用新型]用于真空镀膜气相沉积过程基片装夹的基片架

摘要

本实用新型公开了一种用于真空镀膜气相沉积过程基片装夹的基片架，是在真空室壁有开孔，真空室外的开孔沿上安装有真空室接口法兰，波纹管上端连接在波纹管连接法兰外壁，波纹管连接法兰内套装有磁流体密封传动外轴，磁流体密封传动外轴端部连接有主动齿轮；磁流体密封传动外轴内有磁流体密封传动内轴，磁流体密封传动内轴端部连接有从动齿轮；波纹管连接法兰下端连接有悬架，悬架下方安装有加热/冷却机构，磁流体密封传动外轴下方连接有基片自转齿轮，磁流体密封传动内轴下方安装有基片支撑板；同时实现基片的转动、相对于沉积源的移动、基片的加热/冷却以及基片表面工艺气体的定位输送。

主权项

1、用于真空镀膜气相沉积过程基片装夹的基片架，包括有真空室壁，其特征在于：真空室壁有开孔，真空室外的开孔沿上安装有真空室接口法兰，波纹管上端连接在波纹管连接法兰外壁，下端连接有基片架接口法兰，真空室接口法兰与基片架接口法兰之间固定连接，波波纹管连接法兰外边沿上安装有外轴驱动电机，波纹管连接法兰内套装有磁流体密封传动外轴，磁流体密封传动外轴端部连接有主动齿轮；磁流体密封传动外轴内有磁流体密封传动内轴，磁流体密封传动内轴端部连接有从动齿轮；波纹管连接法兰下端连接有悬架，悬架下方安装有加热/冷却机构，磁流体密封传动外轴下方连接有基片自转齿轮，磁流体密封传动内轴下方安装有基片支撑板；所述的悬架、基片自转齿轮、基片支撑板均位于真空室内；所述的基片架接口法兰侧边连接有提升支架下板，提升支架下板上安装有提升螺杆和提升支架导柱，提升螺杆和提升支架下板之间为转动连接，提升支架导柱穿过波纹管连接法兰边沿为滑动配合，提升螺杆与波纹管连接法兰边沿之间为螺纹连接，所述的提升螺杆上端安装有转动手柄，提升导柱上端安装在提升支架上板上。