[实用新型]真空设备的抽气装置

摘要

本实用新型公开了一种真空设备的抽气装置，使真空设备的真空室形成并维持真空状态，其包括真空管道、粗抽排气系统、放气阀及负压站系统，粗抽排气系统通过真空管道与真空室连通，包括依次串联于真空管道上粗抽阀及粗抽泵，放气阀一端通过真空管道分别与真空室和粗抽排气系统连通，另一端与外界相通，负压站系统包括负压站阀及密闭的负压站室，负压站阀一端与粗抽泵和粗抽阀连通，另一端与负压站室连通。由于增加了负压站系统，使得当对真空室进行抽气时一部分气体经负压站阀窜到真空室里，则无需抽到户外缩短了时间，装卸工件时粗抽泵对负压站室抽气使之具备一定的真空状态，不至于空载运转而节约电能，且减轻对粗抽泵的负载，提高了生产率。

主权项

1.一种真空设备的抽气装置，使真空设备的真空室形成并维持真空状态，所述抽气装置包括：真空管道，所述真空管道连接于所述真空室上；粗抽排气系统，所述粗抽排气系统通过所述真空管道与所述真空室连通，包括粗抽阀及粗抽泵，所述粗抽阀及粗抽泵依次串联于所述真空管道上；放气阀，所述放气阀一端通过真空管道分别与所述真空室和粗抽排气系统连通，另一端与外界相通；其特征在于：包括负压站系统，所述负压站系统包括负压站阀及密闭的负压站室，所述负压站阀一端分别与所述粗抽泵和粗抽阀连通，另一端与所述负压站室连通。