[实用新型]液相外延用双层石英管反应器有效
| 申请号： | 200720064920.5 | 申请日： | 2007-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN201121220Y | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 魏唯;宁宗娥 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C30B19/06 | 分类号： | C30B19/06 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 410111湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种液相外延用双层石英管反应器，它有一端设有出气口(5)而另一端为封闭端的外石英管(2)，两端均为敞口的内石英管(1)置于该外石英管(2)中且所述内石英管(1)的一端(6)外侧与该外石英管(2)设有出气口(5)的一端成密封连接，所述内石英管(1)的另一端及其管体外壁与所述外石英管(2)的内壁之间留有间隙，装有晶片(4)的晶片舟(3)置于所述内石英管(1)中。它能将氢气导向流动，使氢气稳定而均匀地流过液态反应物，从而实现均匀地外延。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 双层 石英管 反应器 | ||
【主权项】：
1.一种液相外延用双层石英管反应器，其特征是，它有一端设有出气口(5)而另一端为封闭端的外石英管(2)，两端均为敞口的内石英管(1)置于该外石英管(2)中且所述内石英管(1)的一端(6)外侧与该外石英管(2)设有出气口(5)的一端成密封连接，所述内石英管(1)的另一端及其管体外壁与所述外石英管(2)的内壁之间留有间隙，装有晶片(4)的晶片舟(3)置于所述内石英管(1)中。
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