[实用新型]一种真空吸附装置无效
| 申请号： | 200720070096.4 | 申请日： | 2007-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN201049465Y | 公开（公告）日： | 2008-04-23 |
| 发明（设计）人： | 陈晓冬;孙新颖 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/06 | 分类号： | B25J15/06;B65G47/91;B65G49/07 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空吸附装置。现有技术中的真空吸附装置因无过滤功能而致使驱动模块在使用一段时间后因进入过多灰尘而需更换，造成了严重的经济损失。本实用新型的真空吸附装置包括直接吸附被吸附件的吸嘴、与该吸嘴相连接且用于提供真空吸附力的驱动模块以及设置在吸嘴与驱动模块间的空气过滤器。采用本实用新型的真空吸附装置可延长使用寿命进而大大节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 吸附 装置 | ||
【主权项】：
1.一种真空吸附装置，该真空吸附装置包括直接吸附被吸附件的吸嘴以及与该吸嘴相连接且用于提供真空吸附力的驱动模块，其特征在于，该真空吸附装置还包括设置在吸嘴与驱动模块间的空气过滤器。
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