[实用新型]带吸气剂的溅射离子复合泵有效
| 申请号： | 200720070902.8 | 申请日： | 2007-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN201092948Y | 公开（公告）日： | 2008-07-30 |
| 发明（设计）人： | 郑主安 | 申请（专利权）人： | 上海三井真空设备有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/04 | 分类号： | F04B37/04 |
| 代理公司： | 上海天协和诚知识产权代理事务所 | 代理人： | 张恒康 |
| 地址： | 201708上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带吸气剂的溅射离子复合泵，包括箱体、箱体内安装有溅射离子泵，同时在箱体内还设置了固定形式放置的吸气剂，吸气剂为镀有锆、钒、钛合金的金属薄板，该吸气剂金属薄板在箱内与溅射离子泵相对的另一侧安放，并可多片成折摺平行排列，其横截面成开口矩形、开口梯形或圆弧形状；由于采用了特殊的吸气剂材料，其激活温度低，约为150℃，与超高真空烘烤除气温度相当，不必配备加热装置，吸气剂制成合理的形状与离子泵有机结合，因此本实用新型带吸气剂的溅射离子复合泵抽氢能力提高，故极限真空度大大提高，体积小，质量轻，抽速质量比大。 | ||
| 搜索关键词： | 吸气 溅射 离子 复合 | ||
【主权项】：
1.一种带吸气剂的溅射离子复合泵，包括箱体、所述箱体内的溅射离子泵，其特征在于：在所述箱体内还设置有固定形式放置的吸气剂。
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