[实用新型]三重气流金属有机物化学气相沉积设备反应腔体

摘要

一种三重气流金属有机物化学气相沉积设备反应腔体，主要包括反应气体进气管道、压气进气管道、喷淋口、冷却腔、载片盘、反应腔、加热器，其特征在于所述反应气体A进气管道从反应腔顶端接入，其下方设有载片盘，载片盘的上部设有喷淋口与冷却腔，压气P进气管道与反应气体B的进气管道同轴包裹在反应气体A进气管道的外壁上，压气P进气管道的出口位于反应气体A出口的上方，反应气体B的出口位于缓冲腔的顶部。本实用新型的优点是采用水平层流和竖直喷淋相结合的气流流场的结构，抑制了喷淋气体反弹回流造成的局部湍流，提高了反应气体分布的均匀性、解决了颗粒附着的清洗问题，该结构简单，易于制造并具有可扩展性。

主权项

1.一种三重气流金属有机物化学气相沉积设备反应腔体，主要包括：反应气体A进气管道(1)、压气P进气管道(2)、反应气体B进气管道(3)、喷淋口(4)、冷却腔(5)、载片盘(6)、反应腔(8)、排气口(9)、缓冲腔(10)、冷却液进口(11)、冷却液出口(12)、腔体外壳(13)、加热器(15)，其特征在于所述反应气体A进气管道(1)从反应腔(8)顶端接入，其下方设有载片盘(6)，载片盘(6)的上部设有喷淋口(4)与冷却腔(5)，压气P进气管道(2)与反应气体B的进气管道(3)同轴包裹在反应气体A进气管道(1)的外壁上，压气P进气管道(2)的出口位于反应气体A出口的上方，其出口的轴线与载片盘(6)平行，反应气体B的出口位于缓冲腔(10)的顶部，其中心轴线的周边，冷却液进口(11)与冷却液出口(12)穿过腔体外壳(13)，分别与冷却腔(5)的两端连接，冷却腔(5)安装于反应腔(8)与缓冲腔(10)之间，载片盘(6)下部设有加热器(15)，排气口(9)位于反应腔(8)的底部。