[实用新型]数字坩埚控制器有效
| 申请号： | 200720080861.0 | 申请日： | 2007-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN201102986Y | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 付成洪;谢亮;刘伟锋;魏杨;薛尚清 | 申请（专利权）人： | 成都南光机器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C16/52;G05B15/02 |
| 代理公司： | 成都立信专利事务所有限公司 | 代理人： | 冯忠亮 |
| 地址： | 610100四川省成都市经济技*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型为数字坩埚控制器，与镀膜装置有关，解决已有坩埚控制器价格昂贵，不具通用性的问题。微控制器(1)与信号传输装置、驱动器(2)和传感器(3)连接，驱动器(2)的输出与步进电机(4)连接，步进电机(4)的输出轴与定位转盘(5)和坩埚(6)连接，传感器(7)位于定位转盘(5)的一侧与步进电机壳体或机架固连。 | ||
| 搜索关键词： | 数字 坩埚 控制器 | ||
【主权项】：
1、数字坩埚控制器，其特征在于微控制器(1)与信号传输装置、驱动器(2)和传感器(3)连接，驱动器(2)的输出与步进电机(4)连接，步进电机(4)的输出轴与定位转盘(5)和坩埚(6)连接，传感器(3)位于定位转盘(5)的一侧与步进电机壳体或机架固连。
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