[实用新型]多晶硅氢还原炉

摘要

本实用新型提供了一种多晶硅氢还原炉。包括带有冷却装置的炉壁，炉壁上安装有视镜，视镜包括视镜玻璃和通入还原炉内壁的内空式镜筒，炉壁安装在底盘上；底盘上布有进、出气装置，底盘设有加热电极，电极上一一对应安装有硅芯棒，硅芯棒和电极为各18对，即各36个，且在底盘上沿三个同心圆周均布设置，所述视镜玻璃为单层玻璃结构，视镜玻璃内表面侧的镜筒筒壁上设有两端分别与镜筒外的进气管和镜筒内通道相通的气体通道。本实用新型不仅可以实现大直径、多对棒生产，提高了多晶硅产量，有效节约了生产成本，同时有效解决了由于水冷而污染视镜玻璃和形成硅附着物的问题，并且结构简单，保证了视镜在生产中不被污染。

主权项

1、多晶硅氢还原炉，包括带有冷却装置的炉壁(1、2)，炉壁(1、2)上安装有视镜(4)，所述视镜(4)包括视镜玻璃(14)和通入还原炉内壁的内空式镜筒(10)，视镜玻璃(14)安装在位于还原炉炉壁之外的镜筒(10)上，镜筒(10)筒壁在靠近视镜玻璃(14)的位置设有水冷结构(17)；炉壁安装在底盘(6)上；底盘(6)上布有进、出气装置，底盘(6)设有加热电极(7)，电极(7)上一一对应安装有硅芯棒(3)，其特征在于：硅芯棒(3)和电极(7)为各18对，即各36个，且在底盘(6)上沿三个同心圆周均布设置，从内圆周向外圆周分别设置为3对、5对、10对；所述内圆周的3对硅芯棒为低电阻率硅芯棒，其余两圆周上为常规电阻率硅芯棒；所述视镜玻璃(14)为单层玻璃结构，视镜玻璃(14)内表面侧的镜筒(10)筒壁上设有两端分别与镜筒(10)外的进气管(11)和镜筒内通道(15)相通的气体通道(13)。