[实用新型]衍射光栅列阵外腔半导体激光线阵

摘要

一种衍射光栅列阵外腔半导体激光线阵，属于半导体激光器领域。包括：半导体激光线阵，快轴准直镜，透镜，半波片，透镜，衍射光栅列阵，衍射光栅单元。其特征是通过衍射光栅列阵进行外腔反馈，使半导体激光线阵一个或多个发光单元入射到一个衍射光栅单元上，通过调节每个衍射光栅单元，使不同弯曲程度的发光单元经衍射单元后沿原路返回的反馈光中心波长很相近，这样不同弯曲程度的发光单元输出光的中心波长很接近，从而整体光谱线宽减小。本实用新型的优点是光栅面积比较小，便于加工和光路调节，成本比较低，输出功率相应提高。

主权项

1、一种衍射光栅列阵外腔半导体激光线阵，包括半导体激光器线阵(1)，沿半导体激光线阵激光输出方向依次设有快轴准直镜(2)、小透镜(3)、半波片(4)、大透镜(5)、衍射光栅列阵(6)，小透镜(3)距离快轴准直镜(2)为小透镜(3)的焦距f1，小透镜(3)和大透镜(5)共焦点放置组成倒置望远系统，大透镜(5)距离衍射光栅列阵(6)为f1，半波片(4)位于小透镜(3)与大透镜(5)焦点处，其特征是所述的衍射光栅列阵(6)由不同旋转角度衍射光栅单元(7)胶合而成，每个衍射光栅单元(7)均利特罗结构放置，所述的半导体激光线阵(1)的一个或多个发光单元入射到一个衍射光栅单元(7)上，调节每个衍射光栅单元(7)，使光轴和离轴发光单元的光束a、b入射到衍射光栅单元(7)的入射角θ、φ相等或很相近。