[实用新型]浅药囊抛光布无效
| 申请号： | 200720095669.9 | 申请日： | 2007-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN201023216Y | 公开（公告）日： | 2008-02-20 |
| 发明（设计）人： | 田鸿义 | 申请（专利权）人： | 天津市克鲁格科工贸有限公司 |
| 主分类号： | B24D11/00 | 分类号： | B24D11/00 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王融生 |
| 地址： | 300210天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种浅药囊抛光布，在基材上面是药囊层，药囊层上布满上开口的药囊，药囊为水滴状，药囊从表面到底部深度为0.2－0.3毫米。药囊层的材料是聚氨酯泡沫塑料。药囊从表面到底部深度0.2毫米。本实用新型效果是：使用这种浅药囊抛光布，加工出来的抛光垫可有效的提高晶片背面的光洁度。本实用新型是技术方案是缩短抛光垫存药的药囊。实施方法为削掉或磨掉药囊多余的部分使药囊缩短，从而在加入还原剂后使药剂中的氯完全快速的中和，提高其表面的光洁度。 | ||
| 搜索关键词： | 药囊 抛光 | ||
【主权项】：
1.一种浅药囊抛光布，在基材上面是药囊层，其特征在于：药囊层上布满上开口的药囊，药囊为水滴状，药囊从表面到底部深度为0.2-0.3毫米。
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