[实用新型]一种用于平面光波导热光器件的微加热装置

摘要

本实用新型的用于平面光波导热光器件的微加热装置，包含光传输通道、连接外部电源的两个接触点，两个接触点分别经连接臂与光传输通道相连，光传输通道为脊型光波导，由衬底和自下而上依次沉积在衬底上的隔离层、芯层、上包层和热电极薄膜组成，其中上包层、热电极薄膜和芯层的宽度相同，两个接触点及连接臂在高度方向上具有与光传输通道相同的层结构。本实用新型用于平面光波导热光器件的微加热装置热功耗降低，尤其适用于小型化平面光波导热光器件。

主权项

1、一种用于平面光波导热光器件的微加热装置，包含光传输通道(1)、用于连接外部电源的两个接触点(2、3)，光传输通道(1)由衬底(6)和自下而上依次沉积在衬底(6)上的隔离层(7)、芯层(8)、上包层(9)和热电极薄膜(10)组成，两个接触点(2、3)分别经连接臂(4、5)与光传输通道相连，其特征是光传输通道(1)为脊型光波导，上包层(9)、热电极薄膜(10)和芯层(8)的宽度相同，两个接触点(2、3)及连接臂(4、5)在高度方向上具有与光传输通道(1)相同的层结构。