[实用新型]相变水冷温控型超磁致伸缩微驱动部件

摘要

本实用新型公开了一种相变水冷温控型超磁致伸缩微驱动部件。通过电流来控制输出位移的驱动装置，并通过相变温控装置和水冷循环装置之间的配合，将驱动器内部热量带到外界环境，实现抑制驱动器温升和热误差输出，提高输出位移控制精度。本实用新型结构简单，驱动电流较小，工作稳定，频响特性好；结合了相变温控技术和水冷温控技术的优点，能实施长时间温控，无需建立复杂的数学模型，能有效抑制热误差输出，位移输出控制精度可达到亚微米级甚至更高，并且能适应各种恶劣的工作环境。同时具有体积小、重量轻、输出力大、位移精度高，能抑制热变形对驱动器输出位移的影响，可用于超精密加工、振动控制等领域。

主权项

1.一种相变水冷温控型超磁致伸缩微驱动部件，其特征在于：包括底座(1)、超磁致伸缩棒(2)、相变内套筒(3)、相变材料(4)、相变外套筒(5)、线圈骨架(6)、输出管(7)、外壳(8)、十字形输出顶杆(9)、预压弹簧、上端盖(11)、预压螺母(12)、驱动线圈(13)、输入管(14)、水泵(15)和水箱(16)；在底座(1)中心小凸台上装有超磁致伸缩棒(2)和十字形输出顶杆(9)，在超磁致伸缩棒(2)和十字形输出顶杆(9)下直杆外，从内向外依次装有相变内套筒(3)、相变材料(4)和相变外套筒(5；在相变外套筒(5)外装有绕制驱动线圈(13)的线圈骨架(6)和外壳(8)，相变外套筒(5)和线圈骨架(6)之间形成冷却水室；线圈骨架(6)上部接输出管(7)与水箱(16)和冷却水室相通，线圈骨架(6)下部接输入管(14)经水泵(15)与水箱(16)和冷却水室相通；十字形输出顶杆(9)上直杆装有预压弹簧和预压螺母(12)，外壳(8)的上端盖(11)、预压弹簧和预压螺母(12)构成组合预压装置。