[实用新型]聚电解质/本征导电聚合物复合电阻型薄膜湿敏元件

摘要

本实用新型公开的聚电解质/本征导电聚合物复合电阻型薄膜湿敏元件，是以微晶玻璃为基片，其上有多对叉指金电极，在微晶玻璃片基体和叉指金电极表面涂覆有交联季胺化的聚4－乙烯基吡啶和聚吡咯复合湿敏薄膜。本实用新型的湿敏元件具有本征导电聚合物的优良导电性和聚电解质湿敏材料对湿度的高灵敏度响应。在宽的湿度范围内，特别是中低湿(0～60％RH)环境下具有阻抗值适中，灵敏度高，线性度好，响应快，回复性佳，稳定性强的优点。同时叉指式电极结构可使湿敏元件电阻降低，检测范围加宽。该湿敏元件可广泛应用于工农业生产过程，仓储，大气环境监测时对于环境湿度精确测量与控制。

主权项

1. 聚电解质/本征导电聚合物复合电阻型薄膜湿敏元件，其特征在于：它具有微晶玻璃基体(1)，在微晶玻璃基体表面光刻和蒸发有多对叉指金电极(2)，在叉指金电极上连接有引线(4)，在微晶玻璃片基体和叉指金电极表面涂覆有湿敏薄膜(3)。