[实用新型]一种新型真空计无效
申请号: | 200720117945.7 | 申请日: | 2007-01-09 |
公开(公告)号: | CN201000382Y | 公开(公告)日: | 2008-01-02 |
发明(设计)人: | 唐家银 | 申请(专利权)人: | 唐家银 |
主分类号: | G01L21/00 | 分类号: | G01L21/00;G01L27/00;G01N27/409 |
代理公司: | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 | 代理人: | 易钊 |
地址: | 518034广东省深圳市福田区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种新型真空计,包括用于将真空中氧分压转为电信号输出的氧化锆氧传感器和用于根据所述氧化锆氧传感器输出的电信号进行测量控制的测量电路单元。实施本实用新型所述新型真空计,具有测量范围宽、测量精度高、设备简单、成本低等优点,同时通过精确的测量真空中的氧分压,能够拓展真空计的应用领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 真空计 | ||
【主权项】:
1、一种新型真空计,其特征在于,包括用于将真空中氧分压转为电信号输出的氧化锆氧传感器和用于根据所述氧化锆氧传感器输出的电信号进行测量控制的测量电路单元。
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