[实用新型]导引环结构无效
| 申请号： | 200720126898.2 | 申请日： | 2007-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN201151081Y | 公开（公告）日： | 2008-11-19 |
| 发明（设计）人： | 魏荣志 | 申请（专利权）人： | 魏荣志 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种导引环结构，包括一斜面及多个圆弧沟渠，当进行化学机械研磨制程时，导引环结构的旋转方向顺向于圆弧沟渠的弯曲方向并相对于研磨盘旋转方向，研磨液能累积于斜面处，将研磨液经由圆弧沟渠送入晶圆的研磨面，使研磨液均匀与晶圆的研磨面接触，提高晶圆的研磨面的平整度。 | ||
| 搜索关键词： | 导引 结构 | ||
【主权项】：
1.一种导引环结构，为环形中空状固设于一研磨头端部，该导引环结构容纳一晶圆并设置于一研磨盘上，其特征在于：该导引环结构于一顶面形成一斜面及多个圆弧沟渠，该导引环结构的旋转方向顺向于该些圆弧沟渠的弯曲方向，而相对于该研磨盘旋转方向，以于研磨旋转时，研磨液能累积于该斜面处，将其研磨液经由该些圆弧沟渠进入该晶圆的一研磨面。
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