[实用新型]全面相消抗温漂扫描探针显微镜探头无效
| 申请号： | 200720130842.4 | 申请日： | 2007-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN201210412Y | 公开（公告）日： | 2009-03-18 |
| 发明（设计）人： | 陆轻铀 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G12B21/24 | 分类号： | G12B21/24;G12B21/02;G01N13/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230026*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 全面相消抗温漂扫描探针显微镜探头涉及扫描探针显微镜，包括探针座、样品座，还包括分别称为左压电管和右压电管的两个压电管，所述左右压电管并排站立并固定于基座，探针座设置于其中一个压电管的自由端，样品座设置于另一个压电管的自由端并对着探针座，所述左右压电管中至少包含一体或分体设置的一个X定位、一个Y定位和一个Z定位。本发明可有效地抑制温度漂移，还具有对外震动和声波的减缓、极端物理条件兼容等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 面相 消抗温漂 扫描 探针 显微镜 探头 | ||
【主权项】：
1、一种全面相消抗温漂扫描探针显微镜探头，包括探针座、样品座，其特征在于还包括分别称为左压电管和右压电管的两个压电管，所述左右压电管并排站立并固定于基座，探针座设置于其中一个压电管的自由端，样品座设置于另一个压电管的自由端并对着探针座，所述左右压电管中至少包含一体或分体设置的一个X定位、一个Y定位和一个Z定位。
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