[实用新型]基板取出装置有效
申请号: | 200720139167.1 | 申请日: | 2007-09-11 |
公开(公告)号: | CN201099552Y | 公开(公告)日: | 2008-08-13 |
发明(设计)人: | 水野雄次 | 申请(专利权)人: | 大日本网目版制造株式会社 |
主分类号: | B65H3/08 | 分类号: | B65H3/08;B65G47/91 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐恕 |
地址: | 日本京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本实用新型提供一种基板取出装置。吸附单元(70)至少具备第一吸附部(702),该吸附部通过其吸附面仅吸附层叠装载的最上位置的基板(St)的上表面端部附近。升降机构(73)使吸附单元(70)升降。升降机构(73)使吸附单元(70)下降到第一吸附部(702)的吸附面与最上位置的基板(St)的上表面端部附近相接近的位置。第一吸附部(702)使其吸附面吸附于最上位置的基板(St)的上表面端部附近。在第一吸附部(702)的吸附面吸附于最上位置的基板(St)的上表面端部附近的状态下,升降机构(73)使吸附单元(70)上升。 | ||
搜索关键词: | 取出 装置 | ||
【主权项】:
1.一种基板取出装置,用于从层叠装载的基板中取出基板,其特征在于,该基板取出装置具有:吸附单元,其至少具有第一吸附部,该第一吸附部通过其吸附面仅吸附层叠装载的最上位置的基板的上表面端部附近;升降机构,其使所述吸附单元进行升降,所述升降机构使所述吸附单元下降到所述第一吸附部的吸附面与所述最上位置的基板的上表面端部附近相接近的位置,所述第一吸附部使其吸附面吸附于所述最上位置的基板的上表面端部附近,在所述第一吸附部的吸附面吸附于所述最上位置的基板的上表面端部附近的状态下,所述升降机构使所述吸附单元上升。
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