[实用新型]老化装置有效

专利信息
申请号: 200720144359.1 申请日: 2007-12-13
公开(公告)号: CN201138360Y 公开(公告)日: 2008-10-22
发明(设计)人: 刘云海;覃碨珺;简维廷;张荣哲 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
主分类号: G01R31/00 分类号: G01R31/00;G01R31/26;G01R31/28
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人: 李丽
地址: 201203*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种老化装置,包括老化测试板,所述老化测试板的测试面上设置有若干边缘连接器;连接板,垂直连接在所述边缘连接器上,所述连接板垂直于老化测试板测试面的平面上设置有若干连接插座,用于和需要老化的半导体器件或者COB板进行连接。所述老化装置避免了现有技术中COB板在边缘连接器上的插拔,即使COB板在连接板插座上多次插拔之后损伤连接板插座,也只需要更换连接板即可,提高了同一次进行老化的半导体器件的数量,可以老化不同规格的COB板以及不同规格的半导体器件,提高了老化装置的通用性。
搜索关键词: 老化 装置
【主权项】:
1.一种老化装置,包括老化测试板,所述老化测试板的测试面上设置有若干边缘连接器,其特征在于,还包括:连接板,具有第一连接面,与边缘连接器连接,第二连接面,设有若干连接插座,所述连接插座将若干需要老化的半导体器件或者COB板电连接至与第一连接面相连接的边缘连接器。
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