[实用新型]高压大功率晶闸管双正角成形设备

摘要

高压大功率晶闸管双正角成形设备，涉及一种高压、大电流半导体芯片的割圆，侧面成形加工的设备。平台上有固定、被动支撑架，供被动支撑架、滑块滑动的滑槽。固定支撑架上有主动转轴、有割圆刀的刀架，外端接真空接头，内端安夹具，被动支撑架安被动转轴、安割圆刀的刀架，被动转轴内端安夹具，滑块上安有刀架杆，刀架杆杆头有夹开双正角槽的刀片的刀片夹具。使用本实用新型时，芯片吸在主动转轴的夹具上，移动被动转轴上的夹具，将芯片夹紧，割圆刀将芯片割圆后，用开双正角槽的刀片开双正角槽。本实用新型可实现双正角工艺，可提高正反转折电压的对称性，提高芯片面积利用率，提高成品率。

主权项

1、高压大功率晶闸管双正角成形设备，其特征在于平台(1)一边固定有固定支撑架(8)，相对的另一边有供被动支撑架(2)左右移动的滑槽(25)，后边供滑块(21)、(22)滑动的滑槽(35)、(13)，固定支撑架(8)上安有由电机(10)、传动皮带、传动皮带盘(12)带动的主动转轴(14)、有割圆刀的刀架(15)，主动转轴(14)外端接真空接头(11)，内端安夹具(7)，被动支撑架(2)安有与主动转轴(14)位置相对的被动转轴(23)、刀架(15)，下部有螺杆(24)，被动转轴(23)内端安夹具(3)，滑块(21)上安有刀架竖杆(19)，刀架横杆(18)通过升降旋钮套(20)套在刀架竖杆(19)外，刀架横杆杆头有夹开双正角槽的刀片(16)或腐蚀头的刀片夹具(17)，移动旋柄(4)、(5)分别与滑块(21)、(22)相连，滑块(21)两边有位移螺杆(31)和弹簧(32)。