[实用新型]圆切方卡具无效
申请号: | 200720149287.X | 申请日: | 2007-05-24 |
公开(公告)号: | CN201061901Y | 公开(公告)日: | 2008-05-21 |
发明(设计)人: | 冯德伸;闵振东 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院北京国晶辉红外光学科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00 |
代理公司: | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 | 代理人: | 李光松 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型属于晶体切割加工卡具范围,特别涉及一种晶圆切方卡具。尾架固定在固定板上,固定板垂直连接臂,定位条固定旋转角度,在旋转砣上粘接晶锭。该卡具只通过一次粘接就能够完成切方的切割工艺。克服现有技术的采用两次粘接技术才能切割完成切方的不足,大大提高切割效率。 | ||
搜索关键词: | 圆切方 卡具 | ||
【主权项】:
1.一种晶圆切方卡具,其特征在于,尾架(1)固定在固定板(2)上,固定板(2)垂直于连接臂(3),在连接臂(3)的下部由固定螺母(6)通过定位条(5)将旋转砣(4)固定在连接臂(3)上。
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