[实用新型]一种固晶机取晶固晶的机械结构无效
| 申请号： | 200720152473.9 | 申请日： | 2007-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN201054346Y | 公开（公告）日： | 2008-04-30 |
| 发明（设计）人： | 杨少辰;韩金龙;罗会才;刘义红 | 申请（专利权）人： | 大赢数控设备(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/58 | 分类号： | H01L21/58;H01L21/67;H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 深圳市凯达知识产权事务所 | 代理人： | 刘大弯 |
| 地址： | 518103广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种固晶机取晶固晶的机械结构，包括取晶臂、取晶臂转轴、吸嘴、取晶固晶装置、移晶装置，取晶臂一端固定连接吸嘴，吸嘴内部中空，取晶臂另一端与取晶臂转轴底端紧配合，取晶臂转轴顶端固定连接取晶臂升降装置和移晶装置，吸嘴连接取晶固晶装置。本实用新型机械结构进一步包括漏晶检测系统和取臂升降装置。本机械结构较之现有技术，大大提高了取晶固晶的效率，设置适当的参数，可获得很高的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固晶机取晶固晶 机械 结构 | ||
【主权项】：
1.一种固晶机取晶固晶的机械结构，其特征在于：包括取晶臂(1)、取晶臂转轴(3)、吸嘴(2)、取晶固晶装置、移晶装置，取晶臂(1)一端固定连接吸嘴(2)，吸嘴(2)内部中空，取晶臂(1)另一端与取晶臂转轴(3)底端紧配合，取晶臂转轴(3)顶端固定连接取晶臂升降装置和移晶装置，吸嘴(2)连接取晶固晶装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
