[实用新型]一种扫描电镜样品台无效
| 申请号： | 200720157306.3 | 申请日： | 2007-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN201122146Y | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 郭红;李正民;冯柳;杜守旭;陈志伟 | 申请（专利权）人： | 山东理工大学 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10;G01N23/00 |
| 代理公司： | 淄博科信专利商标代理有限公司 | 代理人： | 吴红 |
| 地址： | 255049山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种扫描电镜样品台，包括样品座和圆台，其中圆台的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆，其顶端中心设有安装样品座的孔，其特征在于：样品座为一组，尺寸大小不一，孔为螺孔，样品座插入孔的端部设有螺纹。用于做扫描SEM和能谱EDS时，圆台螺杆与扫描电镜样品室连接为一体，然后根据样品的多少，选择一大小相应的样品座螺纹旋入圆台的孔中固定，最后把样品固定到样品座上，即可进行SEM和EDS的观测；用于做EBSD时，圆台经螺杆与扫描电镜样品室连接为一体，电子背散射衍射专用座插入圆台顶端中心设置的孔中，再将样品座安装到专用座的插孔中固定，最后把样品固定到样品座上，即可对样品进行EBSD检测。该产品功能齐全，通用性强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 样品 | ||
【主权项】：
1、一种扫描电镜样品台，包括样品座(1)和圆台(2)，其中圆台(2)的底部设有与扫描电镜样品室螺纹连接的螺杆(3)，其顶端中心设有安装样品座(1)的孔(4)，其特征在于：样品座(1)为一组，尺寸大小不一，孔(4)为螺孔，样品座(1)插入孔(4)的端部设有螺纹。
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