[实用新型]一种缩短外延尾气处理器维护时间的装置无效
| 申请号： | 200720169416.1 | 申请日： | 2007-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN201061753Y | 公开（公告）日： | 2008-05-21 |
| 发明（设计）人： | 何自强;冯泉林;常青 | 申请（专利权）人： | 北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/78 | 分类号： | B01D53/78 |
| 代理公司： | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郭佩兰 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种缩短外延尾气处理器维护时间的装置。它包括：水池、水雾过滤器，盲板，所述的盲板上装有以下几条进入水槽的管路：氮气吹扫管道；自来水管道；由泵输送化学液的管道；连接水泵的管道，该管道通入水池的一端带有漏斗。本实用新型优点是：引入自动加碱和氮气吹扫管路，在不拆开尾气处理器的基础上，通过对尾气处理系统的改进，可以减少系统的维护时间、延长维护周期，整体上提高外延工艺的生产效率，在整个维护过程避免了相关管路的拆卸，从而避免的管路中残余气体的泄漏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缩短 外延 尾气 处理器 维护 时间 装置 | ||
【主权项】：
1.一种缩短外延尾气处理器维护时间的装置，它包括：水池、水雾过虑器，盲板，其特征在于：所述的盲板上装有以下几条进入水槽的管路：氮气吹扫管道；自来水管道；由泵输送化学液的管道；连接水泵的管道，该管道通入水池的一端带有漏斗。
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