[实用新型]可变轨迹的传送轨道及太阳能集热管连续溅射镀膜机无效
| 申请号： | 200720169611.4 | 申请日： | 2007-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN201148461Y | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 吕振华;李云松;李云辉;秦克强;殷志强 | 申请（专利权）人： | 吕振华;李云松;殷志强;李云程 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 董惠石 |
| 地址： | 100034北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种可变轨迹的传送轨道及太阳能集热管连续溅射镀膜机，所述可变轨迹的传送轨道具有至少一组环形轨道，每一组环形轨道均具有至少两个外接轨道，一旋转道岔可转动地设置在所述环形轨道和外接轨道的交界处。所述镀膜机具有：多个圆柱形真空室串联设置，每两个真空室之间用真空通道连接，并设有真空锁；所述镀膜机内设有可变轨迹的传送轨道，设置在真空室外部的外传送轨道的两端分别与可变轨迹的传送轨道的外接轨道相连接。本实用新型的传送轨道结构简单，动作灵活，能够有效地节省设备的占地面积。所述镀膜机能使工件车由一个真空室顺利移到下一个真空室，且可以使工件车环绕靶进行连续溅射镀膜，减少了设备长度，提高了作业效率。 | ||
| 搜索关键词： | 可变 轨迹 传送 轨道 太阳能 热管 连续 溅射 镀膜 | ||
【主权项】：
1、一种可变轨迹的传送轨道，其特征在于，所述可变轨迹的传送轨道具有至少一组环形轨道，每一组环形轨道均具有至少两个外接轨道，一旋转道岔可转动地设置在所述环形轨道和外接轨道的交界处。
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