[实用新型]一种直拉硅单晶制备用坩埚有效
申请号: | 200720173483.0 | 申请日: | 2007-09-29 |
公开(公告)号: | CN201089805Y | 公开(公告)日: | 2008-07-23 |
发明(设计)人: | 吴志强;戴小林;崔彬;姜舰 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院有研半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/10 | 分类号: | C30B15/10 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郭佩兰 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供了直拉硅单晶制备用坩埚,它用在一种名为切克劳斯基(或称直拉)法制造的硅单晶生长方法中,硅晶体在生长室内生长。这种直拉硅单晶制备用坩埚包括:坩埚上部、与下轴连接的埚底,所述的坩埚上部的内侧沿坩埚的轴心等分多块拼装加强圈,另一外圈套在加强圈外。本实用新型优点是:该坩埚重量轻、宜安装,它的使用寿命与原有结构的坩埚相当。 | ||
搜索关键词: | 一种 直拉硅单晶 制备 坩埚 | ||
【主权项】:
1.一种直拉硅单晶制备用坩埚,它包括:坩埚上部、与下轴连接的埚底,其特征在于:所述的坩埚上部的内侧沿坩埚的轴心等分多块拼装加强圈,另一外圈套在加强圈外。
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