[实用新型]一种三极溅射离子泵结构无效
| 申请号： | 200720175720.7 | 申请日： | 2007-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN201106064Y | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 吴华夏;邓清东;侯信磊;赵艳珩;李荣;任振国 | 申请（专利权）人： | 安徽华东光电技术研究所 |
| 主分类号： | C23C14/42 | 分类号： | C23C14/42 |
| 代理公司： | 信息产业部电子专利中心 | 代理人： | 李勤媛 |
| 地址： | 241002安徽省芜*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 一种三极溅射离子泵结构，属于真空电子设备领域，它是由一个置于中心的加正电位的阳极、其两侧各有一个加负电位的栅网状阴极、阴极外侧设有零电位的离子收集极组成。栅网状阴极还在栅丝上刻有槽沟。这种带栅网及槽缝状阴极的三极钛泵，呈现出比二极钛泵具有更高的抽气速率和对惰性气体的稳定性，改进了真空器件内部的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三极 溅射 离子 结构 | ||
【主权项】：
1.一种三极溅射离子泵结构，其特征在于，它是由一个置于中心的加正电位的阳极、其两侧各有一个加负电位的栅网状阴极、阴极外侧设有零电位的离子收集极组成。
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