[实用新型]气阀装置无效
| 申请号： | 200720176882.2 | 申请日： | 2007-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN201149119Y | 公开（公告）日： | 2008-11-12 |
| 发明（设计）人： | 黄世舟;林庆东 | 申请（专利权）人： | 贯旭企业有限公司 |
| 主分类号： | F16K31/04 | 分类号： | F16K31/04;F16K31/53 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张若华 |
| 地址： | 中国台湾桃园市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种气阀装置，包括阀体及驱动模组，该驱动模组连接于阀体用以驱动其运行。所述驱动模组依序包括马达，行星式齿轮减速机及联轴器，以轴向直结方式串联运转，并带动联轴器末端连结的阀体产生启闭动作。 | ||
| 搜索关键词： | 气阀 装置 | ||
【主权项】：
1、一种气阀装置，为配置于半导体蚀刻薄膜制程的设备，用以控制反应室内蚀刻薄膜气体的流量，该装置包括阀体及驱动模组，所述驱动模组连接于阀体，用以控制并驱动阀体的启闭；其特征在于：驱动模组依序包括马达，行星式齿轮减速机及联轴器，以轴向直结方式串联，该联轴器末端连结有阀体。
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