[实用新型]锗单晶热压形变装置无效
申请号: | 200720177977.6 | 申请日: | 2007-09-30 |
公开(公告)号: | CN201125281Y | 公开(公告)日: | 2008-10-01 |
发明(设计)人: | 肖红文;陈东丰;勾成;张柏生;成之绪;李际舟;刘蕴韬;孙凯;王洪立;余周香;吴展华;张莉;李眉娟;李峻宏;韩松柏 | 申请(专利权)人: | 中国原子能科学研究院 |
主分类号: | C30B33/02 | 分类号: | C30B33/02;C30B28/08;C22F1/16 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 102413*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种制备锗单晶的热压形变装置。该装置包括加热和控温系统、真空系统、压力系统等几部分。其中加热和控温系统由真空热压炉和监测炉膛温度的热电偶组成;真空系统由石英钟罩、真空泵以及连接石英钟罩与真空泵的管路组成;压力系统是通过气缸驱动推杆,同放置在石英钟罩内的下模具相连,其中真空热压炉的炉口朝下,底部固定在沿滑轨运动的传动装置上;真空系统、压力系统固定在操作平台上。该系统设计简单,工效得到较大幅度提高。 | ||
搜索关键词: | 锗单晶 热压 形变 装置 | ||
【主权项】:
1. 一种锗单晶热压形变装置,包括加热和控温系统、真空系统、压力系统等几部分,其中加热和控温系统由真空热压炉(8)和监测炉膛温度的热电偶组成;真空系统由石英钟罩(7)、真空泵(4)以及连接石英钟罩(7)与真空泵(4)的管路组成;压力系统是通过气缸(5)驱动推杆,同放置在石英钟罩(7)内的下模具相连,其特征在于:所述的真空热压炉(8)的炉口朝下,底部固定在沿滑轨(1)运动的传动装置(2)上,所述的真空系统、压力系统固定在操作平台(9)上。
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