[实用新型]二维运动平台无效
| 申请号： | 200720189854.4 | 申请日： | 2007-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN201112370Y | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | 高云峰;廖有用;周尔清;王光能;付晓辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市大族精密机电有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/683;G12B9/10;G12B5/00;H02K41/02;H05K9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种直线电机驱动的二维运动平台，该运动平台包括：Y平台、安装在Y平台上的X平台、及安装在X平台上的工作台，X平台包括驱动工作台在X平台上运动的直线电机及支撑工作台的直线导轨，Y平台包括驱动X平台在Y平台上运动的直线电机及支撑X平台的直线导轨。X平台进一步包括配置于直线电机定子上方的磁屏蔽板。通过采用上述结构，X平台定子磁场被有效屏蔽，从而减小了电机漏磁对加工工件的可能影响；Y平台负载及负载位置的变化被分配至两个或多个电机，从而减小了由于结构配置或负载变化引起的动态误差。 | ||
| 搜索关键词： | 二维 运动 平台 | ||
【主权项】：
1.一种二维运动平台，包括Y平台、安装在Y平台上的X平台、及安装在X平台上的工作台，X平台包括驱动工作台在X平台上运动的直线电机及支撑工作台的直线导轨，Y平台包括驱动X平台在Y平台上运动的直线电机及支撑X平台的直线导轨，其特征在于：所述X平台、Y平台分别包括底座，至少一底座上的直线电机定子上方安装磁屏蔽板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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