[实用新型]调针机无效
申请号: | 200720305685.6 | 申请日: | 2007-11-29 |
公开(公告)号: | CN201177661Y | 公开(公告)日: | 2009-01-07 |
发明(设计)人: | 郑仁熹 | 申请(专利权)人: | 垂直电子股份有限公司 |
主分类号: | G01R35/00 | 分类号: | G01R35/00;G01R35/02;G01R1/073 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所 | 代理人: | 皋吉甫 |
地址: | 中国台湾新竹县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本实用新型提供一种适用于调整探针卡上的多个探针的调针机,其包括一基座;一设置于基座上方用以吸附探针卡的固定单元;一用以调整固定单元移动的调整单元;一设置于固定单元上方,以供放大观察多个探针的显微镜;一电脑装置,以提供调整探针时的模拟电极图案与存档;以及一显示器,其连接电脑装置与显微镜,以显示出模拟电极图案与显微镜所观测的探针影像间的相对位置关系,以此简化整个调针过程的时间与步骤。 | ||
搜索关键词: | 调针机 | ||
【主权项】:
1、一种调针机,所述调针机用于调整一探针卡上的多个探针,其特征在于,所述调针机包括:一基座;一固定单元,所述固定单元设置于所述基座上方,所述固定单元是用于吸附所述探针卡;一调整单元,所述调整单元是用于调整所述固定单元的移动;一显微镜,所述显微镜设置于所述固定单元上方,以供放大观察多个探针;一电脑装置,所述电脑装置是提供调整所述探针时的一模拟电极图案与供存档;以及一显示器,所述显示器电性连接所述显微镜与所述电脑装置,以显示出所述模拟电极图案与所述显微镜所观测的探针影像间的相对位置关系。
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