[发明专利]滤色器及其制造中所使用的光掩模有效

专利信息
申请号: 200780000206.2 申请日: 2007-03-07
公开(公告)号: CN101313235A 公开(公告)日: 2008-11-26
发明(设计)人: 釜田敦子;河本龙士;白石淳一 申请(专利权)人: 凸版印刷株式会社
主分类号: G02B5/20 分类号: G02B5/20;G02F1/1335;G03F1/08
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 陈建全
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 一种滤色器,其特征在于,具有第1光间隔体和膜厚比该第1光间隔体小的第2光间隔体,所述第2光间隔体具有其纵向宽的长度比横向宽更长的截面形状。该滤光器的光间隔体具有第1光间隔体形成用的第1开口图案和膜厚比该第1光间隔体小的第2光间隔体形成用的第2开口图案,所述第2开口图案是使用具有横向宽在2.0μm~10.0μm的范围内、横向宽∶纵向宽之比为1∶1.25以上的形状的光掩模来制造的。
搜索关键词: 滤色器 及其 制造 使用 光掩模
【主权项】:
1.一种滤色器,其具有第1光间隔体和膜厚比该第1光间隔体小的第2光间隔体,其特征在于,所述第2光间隔体具有其纵向宽的长度比横向宽更长的截面形状。
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