[发明专利]微谐振器传感器

摘要

公开了一种微谐振器传感器。主波导，设置有用于接收光信号的入射孔和用于输出光信号的出射孔，并且具有光耦合区，在该光偶合区，通过入射孔输入的光信号的部分被分束。谐振波导，具有光连接到主波导的光耦合区的光耦合区，用于接收从主波导分束的分束的光信号，谐振波导由设置在多边形形状中的多个光波导构成。此外，开口形成在构成谐振波导的光波导中的一个或多个光波导上。光路改变构件，安置在与形成谐振波导的相邻光波导接触的顶点区，并且反射输入到谐振波导的分束的光信号中的至少一部分，以在谐振波导内循环分束的光信号。根据本发明，利用全反射镜构成了谐振器，并且因此能够制造微谐振器传感器而没有过多的辐射损耗。此外，所有元件能够集成在相同的晶片上，并且因此能够作为片上器件制造微谐振器传感器。因此，它是有益的，因为能够制造可应用于手持终端的超微光传感器模块。

主权项

1、一种微谐振器传感器，包括：主波导，设置有用于接收光信号的入射孔和用于输出光信号的出射孔，具有光耦合区，在该光耦合区，通过所述入射孔输入的光信号的部分被分束；谐振波导，具有光连接到所述主波导的所述光耦合区的光耦合区，用于接收从所述主波导分束的分束光信号，所述谐振波导由设置在多边形形状中的多个光波导构成；以及光路改变构件，安置在与形成所述谐振波导的相邻光波导接触的顶点区，用于反射输入到所述谐振波导的分束的光信号中的至少一部分，以在所述谐振波导内循环分束的光信号，其中，开口形成在构成所述谐振波导的光波导中的一个或多个光波导上。