[发明专利]用于调度半导体批次的系统有效
| 申请号： | 200780001721.2 | 申请日： | 2007-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN101361075A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | E·迪克斯坦;A·德齐德齐克;R·伯达 | 申请（专利权）人： | 国际商业机器公司 |
| 主分类号： | G06F19/00 | 分类号： | G06F19/00;G05B13/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 吴立明 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种用于在多个工具之间调度多个半导体批次(155、160)的系统(110)。该系统包括调度服务器管理器(120)以及调度综合器和显示设备(110)。调度综合器和显示设备向管理器传递调度请求(115)并且从管理器接收调度列表(125)。该管理器查询多个半导体批次的处理状态并且显示调度列表以响应处理状态。调度列表包括与处理状态有关的相关原因和/或代码(180)。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 调度 半导体 批次 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于在多个工具之间调度多个半导体批次(155、160)的系统(100)，所述系统包括：调度服务器管理器(120)；以及调度综合器和显示设备(110)，用于将调度请求(115)传递到所述管理器并且从所述管理器接收调度列表(125)，其中，所述管理器查询所述多个半导体批次的处理状态并且显示调度列表以响应所述处理状态，其中所述调度列表包括与所述处理状态有关的相关原因和/或代码。
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