[发明专利]测试分选机有效
申请号: | 200780002051.6 | 申请日: | 2007-02-09 |
公开(公告)号: | CN101366109A | 公开(公告)日: | 2009-02-11 |
发明(设计)人: | 沈裁均;罗闰成;全寅九;具泰兴;金东韩 | 申请(专利权)人: | 泰克元有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人: | 韩明星;张军 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 公开了一种测试分选机,该测试分选机包括测试托盘、至少一个打开单元和位置改变设备。测试托盘在其一侧排列多个插入件。在每个插入件上装载至少一个半导体装置。所述打开单元打开测试托盘所述一侧的一部分上的插入件。位置改变设备使所述至少一个打开单元按照所述至少一个打开单元可以位于测试托盘所述一侧的另一部分的方式运动,从而所述至少一个打开单元可以打开在测试托盘所述一侧的另一部分的插入件。本发明可以根据半导体装置尺寸的改变减少被替换部件的数量,降低生产成本和部件替换时间。此外,本发明可以被容易地应用到各种类型的测试器上。 | ||
搜索关键词: | 测试 分选 | ||
【主权项】:
1.一种测试分选机,包括:测试托盘,多个插入件排列在所述测试托盘的一侧上,其中,在每个插入件上能够装载至少一个半导体装置;至少一个打开单元,用于打开测试托盘所述一侧的一部分上的插入件;位置改变设备,用于使所述至少一个打开单元按照所述至少一个打开单元能够位于测试托盘所述一侧的另一部分的方式运动,从而所述至少一个打开单元能够打开在测试托盘所述一侧的所述另一部分上的插入件。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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