[发明专利]压力传感器装置、以及内置压力传感器的流体控制仪器

摘要

本发明提供一种压力传感器装置以及内置压力传感器的流体控制仪器，能够实现进一步的紧凑化，并且，使压力传感器的单独更换容易的集成化流体控制装置成为可能。压力传感器装置(21)具有：第1通路块(22)，在该第1通路块上形成有规定的通路(22a)；第2通路块(23)，在该第2通路块上形成有规定的通路(23a)，且第2通路块(23)与第1通路块(22)隔开规定间隔地相对；压力传感器(24)，该压力传感器设在所述第1、第2通路块的任一方的通路块(23)的相对面上，检测其内部通路(23b)的流体压力，该压力传感器装置(21)与压力调整器(16)一体化。

主权项

1.一种压力传感器装置，其特征在于，具有：第1通路块，在该第1通路块上形成有规定的通路；第2通路块，在该第2通路块上形成有规定的通路，且该第2通路块与所述第1通路块隔开规定间隔地相对；压力传感器，该压力传感器设在所述第1、第2通路块的任一方的通路块的相对面上，检测该通路块的内部通路的流体压力。