[发明专利]层叠结构及使用其的电路用电极无效
| 申请号： | 200780003521.0 | 申请日： | 2007-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN101375204A | 公开（公告）日： | 2009-02-25 |
| 发明（设计）人： | 梅野聪;本田克典;井上一吉;松原雅人 | 申请（专利权）人： | 出光兴产株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1343 | 分类号： | G02F1/1343;H01B5/02;H01B5/14;C23C14/08;H01B13/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李贵亮 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 层叠ITO薄膜和钼薄膜的薄膜是作为液晶显示器等的电路的一部分而使用的。但是，公知有在ITO薄膜上形成钼薄膜时，在各个成膜的薄膜发生内部应力，而引起薄膜的剥落和断线。为此，要求一种能够防止由于ITO薄膜和钼薄膜间的应力而产生的龟裂、断线，同时，能够简化成膜工序和蚀刻工序的层叠膜的形成技术。本发明者们为了解决这样的课题进行锐意研究的结果是发现透明导电膜的膜厚在35nm以下时，透明导电膜及钼金属薄膜的紧贴性提高。因此，能够同时实现防止裂纹、断线和通过工序简化而使成品率提高，从而完成本发明。 | ||
| 搜索关键词： | 层叠 结构 使用 电路 用电 | ||
【主权项】：
1.一种层叠结构，其由透明导电薄膜及钼金属薄膜构成，其中，所述透明导电薄膜的膜厚为35nm以下。
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