[发明专利]红外线吸收体及热型红外线检测器有效
| 申请号： | 200780003604.X | 申请日： | 2007-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101375140A | 公开（公告）日： | 2009-02-25 |
| 发明（设计）人： | 尾岛史一;铃木顺;北浦隆介 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G01J1/02 | 分类号： | G01J1/02;G01J1/04;H01L27/14;H01L35/32;B32B7/02;B32B9/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘春成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 红外线吸收膜(2)，具备：含有TiN的第一层(21)，及含有Si系化合物的第二层(22)，将从第二层(22)侧入射的红外线的能量变换成热。TiN对比8μm短的波长区域的红外线的吸收率高，另一方面对比8μm长的波长区域的红外线反射率高。因此，在将对长波长区域的红外线的吸收率优异的Si系化合物层层叠在TiN层上时，则可使TiN层中吸收率低的波长区域的红外线在Si系化合物层适当地吸收，同时，可对要透过Si系化合物层的红外线在TiN层的界面反射而回到Si系化合物层。 | ||
| 搜索关键词： | 红外线 吸收体 检测器 | ||
【主权项】：
1.一种红外线吸收体，其特征在于，具备：含有TiN的第一层，及含有Si系化合物且设置在所述第一层上的第二层，将从所述第二层侧入射的红外线的能量变换成热。
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