[发明专利]热处理装置、加热器及其制造方法

摘要

本发明提供热处理装置、加热器及其制造方法，能提高喷出孔的设计自由度，无需调整阀只利用喷出孔的设计便能调整加热器各部的降温速度，且流路结构简单，易于实现密封和降低成本。热处理装置包括：多层收容被处理体并对其进行规定热处理的处理容器；覆盖该处理容器的外周并加热被处理体的筒状加热器；排出该加热器与处理容器之间的空间内的氛围气体的排热系统；和向空间内喷出冷却流体进行冷却的冷却单元。加热器具有筒状隔热件、配置在该隔热件内周的发热电阻体和设置在隔热件外周的外皮。冷却单元具有在隔热件和外皮之间沿高度方向形成的单个或多个环状流路、和设在隔热件上于从各环状流路向隔热件中心或中心倾斜方向喷出冷却流体的喷出孔。

主权项

1. 一种热处理装置，其特征在于，包括：用于多层地收容被处理体并且对该被处理体进行规定的热处理的处理容器；覆盖该处理容器的外周并对被处理体进行加热的筒状的加热器；将该加热器与处理容器之间的空间内的氛围气体排出的排热系统；以及向所述空间内喷出冷却流体以进行冷却的冷却单元，其中，所述加热器具有：筒状的隔热件；配置在该隔热件的内周的发热电阻体；和覆盖隔热件的外周的外皮，所述冷却单元具有：形成在隔热件和外皮之间、用于冷却流体流动的环状流路；和设置在隔热件上、用于向隔热件内部喷出环状流路内的冷却流体的喷出孔。