[发明专利]玻璃基板的加工方法以及玻璃基板加工用漂洗剂组合物有效
| 申请号： | 200780007230.9 | 申请日： | 2007-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN101395097A | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 水上洋 | 申请（专利权）人： | 昭和电工株式会社 |
| 主分类号： | C03C23/00 | 分类号： | C03C23/00;C03C19/00;B24B37/00;G11B5/84 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 段承恩;田 欣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种玻璃基板的加工方法，其包括利用氧化铈等研磨材料对玻璃基板进行研磨加工的工序，以及供给包括下述(1)、(2)或(3)的、pH为7～12的漂洗剂组合物进行漂洗加工的工序，其中，(1)水溶性镁化合物的水溶液，(2)水溶性镁化合物与选自碱金属氢氧化物、碱金属碳酸盐、以及碱金属碳酸氢盐中的至少1种的水溶液，(3)包含下述胶体状粒子的悬浮液，所述胶体状粒子是水溶性镁化合物与选自碱金属氢氧化物、碱金属碳酸盐、以及碱金属碳酸氢盐中的至少1种在水中反应得到的。通过本发明的玻璃基板加工方法，能够得到表面粗糙度极小的玻璃基板。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃 加工 方法 以及 基板加 工用 漂洗 组合 | ||
【主权项】：
1. 玻璃基板的加工方法，包括：对玻璃基板进行研磨加工的工序，以及供给pH为7～12的选自下述(1)～(3)之一的漂洗剂组合物，对玻璃基板进行漂洗加工的工序，(1)水溶性镁化合物的水溶液，(2)水溶性镁化合物与选自碱金属氢氧化物、碱金属碳酸盐、以及碱金属碳酸氢盐中的至少1种的水溶液，(3)包含下述胶体状粒子的悬浮液，所述胶体状粒子是水溶性镁化合物与选自碱金属氢氧化物、碱金属碳酸盐、以及碱金属碳酸氢盐中的至少1种在水中反应得到的。
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