[发明专利]用于光致抗蚀剂组合物的碱溶性聚合物无效
| 申请号： | 200780008643.9 | 申请日： | 2007-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN101400723A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | D·阿布达拉;F·霍利亨 | 申请（专利权）人： | AZ电子材料美国公司 |
| 主分类号： | C08G75/20 | 分类号： | C08G75/20;G03F7/039 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 杨立芳 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述了包含至少一个磺酰基的碱溶性聚合物，其中在相对于该磺酰基的α-位和/或β-位和/或γ-位的至少一个碳原子具有羟基，其中该羟基是受保护或未受保护的。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光致抗蚀剂 组合 碱溶性 聚合物 | ||
【主权项】：
1. 包含至少一个磺酰基的碱溶性聚合物，其中在相对于该磺酰基的α-位和/或β-位和/或γ-位的至少一个碳原子具有羟基，其中该羟基是受保护或未受保护的。
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