[发明专利]微机械的转速传感器无效
| 申请号： | 200780008668.9 | 申请日： | 2007-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101400969A | 公开（公告）日： | 2009-04-01 |
| 发明（设计）人： | B·哈特曼;S·京特纳 | 申请（专利权）人： | 康蒂特米克微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01P9/04 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 俞海舟 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微机械的转速传感器、它配有：一个基片(9)；至少一个借助至少一个弹簧元件(11，11′)悬置在基片(9)上的基本元件(1)，该基本元件包含至少一个震波性的主体(3)；一个激励装置(6)；和一个读出装置(15)。根据本发明，弹簧元件(11，11′)是可以垂直于基本元件(1)的运动方向(X，Y)移动的。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 转速 传感器 | ||
【主权项】：
1. 微机械的转速传感器，具有：一基片(9)；至少一个利用至少一个弹簧元件(11，11′)悬置在基片(9)上的基本元件(1)，所述基本元件包含至少一个震波性的主体(3)；一激励装置(6)；和一读出装置(15)，其特征在于：所述弹簧元件(11，11′)能够垂直于基本元件(1)的运动方向(X，Y)运动。
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